T/ICMtia 4.1-2020 集成電路用氟化氬光刻膠單體 第1部分 液體甲基丙烯酸酯類

范圍
本文件規(guī)定了集成電路用氟化氬光刻膠單體第1部分液體甲基丙烯酸酯類的術(shù)語和定義、產(chǎn)品類型和結(jié)構(gòu)特點、技術(shù)要求、分析檢測方法、工藝要求、包裝、貯存和運輸?shù)纫蟆?br style="padding: 0px; margin: 0px;"/>本文件適用于由有機原料、溶劑、適宜阻聚劑等組分合成經(jīng)精制后可適用于氟化氬樹脂制備用的單體。

術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。
氟化氬光刻膠
是指在氟化氬準分子激光器為曝光光源(波長193nm)的條件下，具有良好的光學(xué)透明性、較低的吸收、較高的熱穩(wěn)定性、較高的抗蝕刻性能的光刻膠。
光刻膠單體
是合成光刻膠樹脂的前體物，其質(zhì)量情況決定著成膜樹脂的性能。
甲基丙烯酸酯類光刻膠單體
是指結(jié)構(gòu)中均含有甲基丙烯酸酯基團的一類光刻膠單體。
氣相色譜法
氣液色譜法，又稱氣相層析。是一種在有機化學(xué)中對易于揮發(fā)而不發(fā)生分解的化合物進行分離與分析的色譜技術(shù)。
高效液相色譜法
高效液相色譜是以液體為流動相，采用高壓輸液系統(tǒng)，將具有不同極性的單一溶劑或不同比例的混合溶劑、緩沖液等流動相泵入裝有固定相的色譜柱，在柱內(nèi)各成分被分離后，進入檢測器進行檢測，從而實現(xiàn)對試樣的分析。
凝膠滲透色譜法
也稱為體積排除色譜、是一種液體(液相)色譜。是利用高分子溶液通過填充有特種凝膠的柱子，把聚合物分子按照尺寸大小進行分離的方法。
高聚物
高聚物是由一種或幾種簡單低分子化合物經(jīng)聚合而組成的分子量很大的化合物，又稱高分子或大分子等。高分子化合物中分子所含的原子數(shù)可達數(shù)萬，甚至數(shù)十萬，而低分子化合物分子的原子數(shù)不過幾個，最多數(shù)百個。習(xí)慣上將分子量小于500的，稱為低分子化合物，分子量大于5000 的稱為高分子化合物。
低聚物
又稱寡聚物，舊稱齊聚物。指的是由較少的重復(fù)單元所組成的聚合物。其相對分子質(zhì)量介于小分子和高分子之間。一般出現(xiàn)在逐步聚合反應(yīng)的初期，此時眾多具有可相互反應(yīng)的官能團(如羧酸和醇)的單體彼此互相反應(yīng)，生成了大量的二聚體、三聚體等，之后隨著反應(yīng)的繼續(xù)，二聚體與三聚體之間再逐步反應(yīng)生成高分子。
所用英文或字母縮寫釋義
ppm  即百萬分之一。
表達溶液濃度時，1ppm即為1μg/mL，表達固體中成分含量時，1ppm 即為1μg/g。
ppb  即十億分之一。
表達溶液濃度時，1ppb即為1×10^-3μg/mL，表達固體中成分含量時，1ppb即為1×10^-3μg/g。
NMP  N-甲基吡咯烷酮
IPA  異丙醇

產(chǎn)品類型和結(jié)構(gòu)
性狀與結(jié)構(gòu)
本系列產(chǎn)品為無色透明液體，結(jié)構(gòu)中均含有甲基丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)在引發(fā)劑的作用下進行聚合，從而形成甲基丙烯酸酯共聚物。
產(chǎn)品類型


技術(shù)規(guī)格及指標




分析檢測方法
水分
按 GB/T 6283 化工產(chǎn)品中水分含量的測定卡爾·費休法(通用方法)的規(guī)定執(zhí)行。
GB/T 6283-2008 化工產(chǎn)品中水分含量的測定 卡爾·費休法(通用方法)

酸值
按 GB/T 2895 塑料聚酯樹脂部分酸值和總酸值的測定執(zhí)行。
GB/T 2895-2008 塑料 聚酯樹脂 部分酸值和總酸值的測定


京都電子KEM 卡爾·費休水分測定儀 MKV-710B
京都電子KEM 四通道自動電位滴定儀 AT-710M